Алюминиевая нитридная трубка

Тепловые свойства

 Выдающаяся теплопроводность (170-220 w/m · k) - сопоставимо с Бериллией без проблем с токсичностью

 Низкое тепловое расширение (4,5 × 10⁻⁶/ градуса) - соответствует кремнию для полупроводниковой совместимости

 Стабильность высокой температуры - поддерживает целостность до 1380 градусов в инертных атмосферах

Электрические и механические свойства

 Отличная электрическая изоляция (10¹³ -10 ⁴ ω · см. Удельное сопротивление объема)

 Высокая диэлектрическая прочность (15-20 кВ/мм)

 Умеренная механическая прочность (300-400 MPA Flexural)

Химическая устойчивость

 Устойчивые к расплавленным металлам, включая алюминиевую и медную

 Стабильная в уменьшении атмосфер - в отличие от оксидной керамики

 Устойчивость к гидролизу - превосходящие конкурирующие нитриды

1. Полупроводниковые производства

Компоненты обработки пластин - для сердечно -сосудистых оборудования

Пробирки с содержанием плазмы - в сухих системах травления

Компоненты обогревателя и чака - для тепловой обработки пластин

2. Power Electronics

Трубки радиатора - для мощной светодиодной упаковки

Изолирующие корпуса - в модулях сильной мощности высоковольтных

РФ/микроволновые компоненты - диэлектрические приложения с низким потери

3. Переработка передовых материалов

Кристаллические крестики - для производства арсенида галлия

Металлические контейнеры испарения - в вакуумных системах осаждения

Компоненты теплового интерфейса - для высокотемпературных печей

4. Аэрокосмическая и защита

Корпус радарного компонента - микроволновые транслянные свойства

Системы теплового управления - для охлаждения авионики

Материальные преимущества по сравнению с альтернативами

Безопаснее, чем Берилия - сопоставимые тепловые характеристики без токсичности

Более термически проводящий, чем глинозем - 6-8 × лучшее рассеяние

Более стабильный, чем карбид кремния - лучшая устойчивость к окислению

Технические ключевые слова:
Свойства нитридной трубки алюминия, керамика с высокой теплопроводности, технические характеристики ALN, керамика полупроводниковых классов